故障一：排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內(nèi)有異物，氬氣過濾器入口端有異物。
處理辦法：更換排氣管，要更換透明的塑料管，并定期對排氣管路進(jìn)行吹掃。

故障二：新儀器電腦出現(xiàn)死機(jī)，程序錯(cuò)誤、黑屏、分析軟件的START狀態(tài)不對有時(shí)變?yōu)辄S色不動(dòng)，有時(shí)雖然動(dòng)但是變?yōu)榧t色。
處理辦法：此為通訊線接觸不良，重新連接即可。

故障三：真空泵不自動(dòng)啟動(dòng)故障，
處理辦法：先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動(dòng)啟動(dòng)真空泵，有時(shí)需停頓一下，再試。

故障四：溫度偏高故障
處理辦法：檢查儀器后蓋風(fēng)扇是否轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)是否靈活。

故障五：P、S穩(wěn)定性不好，檢查真空泵是否被誤關(guān)掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個(gè)維護(hù)不好的光路會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的重現(xiàn)性和分析結(jié)果。
處理辦法：檢查真空泵及清洗鏡片

故障六：真空值下降快故障
處理辦法：看真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或?qū)蔷o固螺絲。

故障七：光強(qiáng)值下降
原因分析：
1、透鏡臟
2、入射狹縫污染
3、光纖老化
處理辦法：擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
經(jīng)驗(yàn)總結(jié)：光譜儀用久了，激發(fā)臺會(huì)因點(diǎn)打的太多了，出現(xiàn)放電漏氣現(xiàn)象，導(dǎo)致光強(qiáng)上不去，需要經(jīng)常清理激發(fā)臺板及火花室。

故障八：數(shù)據(jù)不穩(wěn)定
處理方法：清洗鏡片后重新做標(biāo)準(zhǔn)化，直讀光譜儀鏡片的污染會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)測試的結(jié)果不穩(wěn)定，長時(shí)間沒有做儀器的曲線校準(zhǔn)也會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)測試穩(wěn)定性不好。